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XY精密滑臺(tái)

Awooe-XY精密滑臺(tái)是一個(gè)集成XY線性電機(jī)位移臺(tái)，旨在消除單個(gè)X級(jí)和Y級(jí)的集成，并提高系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)應(yīng)用剛度。它的特點(diǎn)是行程范圍為 100mm，X軸和Y軸之間具有精確的正交對(duì)準(zhǔn)，是精密工業(yè)應(yīng)用的理想解決方案，X/Y重復(fù)定位±0.5μm、定位精度（含補(bǔ)償）±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s

片庫

尺寸：332*356*765
特征要點(diǎn)：
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加載檢測(cè)
·整體潔凈度等級(jí)優(yōu)于ISO Class4
·Mapping姿態(tài)檢測(cè)最小支持300μm厚度
·晶圓交接重復(fù)性精度≤7μm
·運(yùn)行速度最大150mm/s
·停電或緊急停止安全原位保持
·維護(hù)MTTR≤30分鐘
·支持SEMI標(biāo)準(zhǔn)

版庫

尺寸：321*298*437
特征要點(diǎn)：
·支持6吋單槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒蓋檢測(cè)
·掩膜Mapping檢測(cè)
·自動(dòng)完成光罩盒開解鎖
·支持RFID掃讀和數(shù)據(jù)上報(bào)
·支持掩膜二維碼掃讀和數(shù)據(jù)上報(bào)
·掩膜交接重復(fù)性精度≤40μm
·整體潔凈度等級(jí)優(yōu)于ISO Class4
·支持SEMI標(biāo)準(zhǔn)